以可靠性为中心的维修RCM是目前国际上通用的用以确定资产预防性维修需求优化维修制度的一种系统工程方法它的基本思路是对系统进行功能与故障分析，明确系统内各故障的后果用规范化的逻辑决断方法，确定出各故障。所以总体来看，半导体国产替代其实各个环节都是机会，毕竟目前在所有领域都是较为落后的，甚至上下游的材料，设备方面都落后...